플라즈마 기술을 이용한 집진 및 정화 시설은 주로 산업 현장에서 발생하는 먼지, 유해 가스, 악취 등을 제거하는 데 사용됩니다. 작동 원리는 다음과 같습니다.

1. 플라즈마 생성:

• 전극 방전: 집진 장치 내부에 고전압을 인가하여 전극 사이에 강력한 전기장을 형성합니다. 이때 공기 중 일부 분자가 이온화되고 활성화되어 플라즈마가 생성됩니다.
• 다양한 플라즈마 방식: 코로나 방전, 유전체 장벽 방전, 아크 방전 등 다양한 방식으로 플라즈마를 생성할 수 있으며, 처리하고자 하는 오염 물질의 특성에 따라 적절한 방식을 선택합니다.

2. 오염 물질 처리:

• 입자상 물질 (먼지):
  • 대전 및 응집: 플라즈마에 의해 생성된 전자와 이온이 먼지 입자에 부착되어 입자를 대전시킵니다. 대전된 입자들은 서로 끌어당겨 응집되면서 크기가 커지고, 중력에 의해 쉽게 침강하거나 집진판에 포집됩니다.
  • 산화 분해: 플라즈마에 의해 생성된 활성종(O, OH, O3 등)이 먼지 입자 표면의 유기물질을 산화 분해하여 먼지의 독성을 감소시키거나 제거합니다.
• 가스상 물질 (유해 가스, 악취):
  • 산화 분해: 플라즈마에 의해 생성된 활성종이 유해 가스 및 악취 물질과 반응하여 이들을 무해한 물질로 분해합니다. 예를 들어, 암모니아(NH3)는 질소(N2)와 물(H2O)로, 황화수소(H2S)는 황(S)과 물(H2O)로 분해될 수 있습니다.
  • 흡착: 플라즈마 처리 과정에서 생성된 부산물 중 일부는 흡착제에 의해 제거될 수 있습니다.

3. 부가 기능:

• 살균: 플라즈마는 세균 및 바이러스를 불활성화시키는 살균 효과를 가지고 있습니다.
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